- Добавил: kotmatros255
- Дата: 2-01-2021, 14:38
- Комментариев: 0
Название: Напівпровідниковий кремній: теорія і технологія виробництва
Автор: Червоний І.Ф. (ред.)
Издательство: Запоріжжя: ЗДІА
Год: 2009
ISBN: 978-966-8462-24-5
Формат: pdf
Страниц: 486
Размер: 102 Мб
Язык: Украинский
Викладено фізико-хімічні основи технології напівпровідникового кремнію, розглянуті властивості технологічних матеріалів, вплив структурної недосконалості і термічної обробки на електрофізичні та фізико-хімічні властивості кремнію. Описані процеси отримання кремнію, розглянуте устаткування для цього, зокрема вакуумне і криогенне.
Автор: Червоний І.Ф. (ред.)
Издательство: Запоріжжя: ЗДІА
Год: 2009
ISBN: 978-966-8462-24-5
Формат: pdf
Страниц: 486
Размер: 102 Мб
Язык: Украинский
Викладено фізико-хімічні основи технології напівпровідникового кремнію, розглянуті властивості технологічних матеріалів, вплив структурної недосконалості і термічної обробки на електрофізичні та фізико-хімічні властивості кремнію. Описані процеси отримання кремнію, розглянуте устаткування для цього, зокрема вакуумне і криогенне.