- Добавил: umkaS
- Дата: 17-02-2022, 10:31
- Комментариев: 0

Автор: Берлин Е.В., Григорьев В.Ю., Сейдман Л.А.
Издательство: Техносфера
Год: 2018
Cтраниц: 463
Формат: pdf
Размер: 63 мб
Язык: русский
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм.