- Добавил: Igor1977
- Дата: 20-02-2023, 13:15
- Комментариев: 0
Название: Процессы микро- и нанотехнологий
Автор: Пивоваренок С.А., Ситанов Д.В.
Издательство: Иваново: Ивановский государственный химико-технологический университет
Год: 2016
Формат: pdf
Страниц: 255
Размер: 22 mb
Язык: русский
Учебное пособие содержит описание базовых процессов планарной технологии изготовления интегральных микросхем в микро и наноэлектронике. Рассматриваются процессы очистки материалов, получение эпитаксиальных пленок на поверхности подложек, формирование защитных и пассивирующих покрытий, а также фотолитография, диффузия и изготовление печатных плат. Каждый раздел пособия содержит перечень вопросов для самоподготовки. С целью получения практических навыков и закрепления теоретического материала в пособие включены шесть базовых лабораторных работ по основным технологическим процессам.
Каждое описание лабораторной работы содержит подробное теоретическое введение, описание материалов и лабораторного оборудования, порядок выполнения работы и лабораторное задание.