Название: Нанотехнологии в полупроводниковой электронике
Автор: Асеев А.Л.
Издательство: Новосибирск: СО РАН
ISBN: 5-7692-0680-2
Год: 2004
Формат: PDF
Страниц: 368
Размер: 128.4 MB

В монографии представлены результаты работ ИФП СО РАН по развитию нанотехнологий и методов диагностики для создания нового поколения устройств и приборов современной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены: технологии молекулярно-лучевой эпитаксии; методы наноструктурирования, позволяющие создавать двух- и трехмерные наноструктуры различных форм и геометрии; современные методы диагностики полупроводниковых наноструктур с атомным разрешением; результаты применения нанотехнологий для изготовления устройств наноэлектроники.
Монография представляет интерес для специалистов в области физики полупроводников, физики и химии твердого тела, микро-, наноэлектроники и нанотехнологии.