Название: Химическое осаждение из газовой фазы стеклообразных тонких пленок
Автор: Васильев В.Ю.
Издательство: LAP Lambert Akademic Publishing
Год: 2018
Формат: pdf
Страниц: 388
Размер: 13 mb
Язык: Русский

Область монографии – полученные методами химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) тонкие неорганические стеклообразные пленки, используемые в технологиях микроэлектроники, микро- и наносистемной техники, оптоэлектроники. На основании объемного экспериментального материала, в том числе полученного лично автором и коллективами под руководством автора, проанализированы процессы ХОГФ и свойства тонких пленок нитрида кремния, диоксида кремния, фосфор- и борсиликатных тонких пленок. Созданы основные представления о кинетике роста пленок при ХОГФ.