Vtome.ru - электронная библиотека

Химическое осаждение из газовой фазы стеклообразных тонких пленок

  • Добавил: Igor1977
  • Дата: 9-04-2024, 14:11
  • Комментариев: 0
Химическое осаждение из газовой фазы стеклообразных тонких пленок
Название: Химическое осаждение из газовой фазы стеклообразных тонких пленок
Автор: Васильев В.Ю.
Издательство: LAP Lambert Akademic Publishing
Год: 2018
Формат: pdf
Страниц: 388
Размер: 13 mb
Язык: Русский

Область монографии – полученные методами химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) тонкие неорганические стеклообразные пленки, используемые в технологиях микроэлектроники, микро- и наносистемной техники, оптоэлектроники. На основании объемного экспериментального материала, в том числе полученного лично автором и коллективами под руководством автора, проанализированы процессы ХОГФ и свойства тонких пленок нитрида кремния, диоксида кремния, фосфор- и борсиликатных тонких пленок. Созданы основные представления о кинетике роста пленок при ХОГФ.



ОТСУТСТВУЕТ ССЫЛКА/ НЕ РАБОЧАЯ ССЫЛКА ЕСТЬ РЕШЕНИЕ, ПИШИМ СЮДА!










ПРАВООБЛАДАТЕЛЯМ


СООБЩИТЬ ОБ ОШИБКЕ ИЛИ НЕ РАБОЧЕЙ ССЫЛКЕ



Внимание
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
Мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.
Информация
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.