Название: Современное технологическое оборудование для микроэлектроники
Автор: Камлюк В.С., Камлюк Д.В.
Издательство: РИПО
Год: 2022
Cтраниц: 265
Формат: pdf
Размер: 29 мб
Язык: русский

В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».