Название: Выращивание профильных полупроводниковых монокристаллов
Автор: Маслов В.Н.
Издательство: Металлургия
Год: 1977
Формат: DjVu
Страниц: 328
Размер: 11.5 MB
Язык: Русский

Описана технология выращивания германия, кремния, соединений AIIIBV и других полупроводников в виде монокристаллов различной формы. Излагаются физико-химические основы выращивания профильных монокристаллов из твердой фазы, из расплавов, из растворов в расплавленных металлах и из газовой фазы. Рассматриваются специфические особенности профильных монокристаллов, полученных разными способами, и перспективные области их применения.
Книга является единственной в мировой научно-технической литературе монографией, посвященной проблеме получения и использования профильных полупроводниковых монокристаллов. Предназначена для научных сотрудников и инженерно-технических работников предприятий полупроводниковой металлургии и специалистов в области технологии материалов для электронной техники и микроэлектроники. Полезна также для студентов и аспирантов соответствующих специальностей.