Название: Диффузия в полупроводниках
Автор: Болтакс Б.И.
Издательство: М.: Физматгиз
Год: 1961
Формат: DjVu
Страниц: 462
Размер: 10.8 MB
Язык: Русский

В предлагаемой монографии мы попытались обобщить и систематизировать накопленный за последние годы (до 1960 г.) экспериментальный материал по диффузии примесей и самодиффузии в различных полупроводниковых материалах. Часть этого материала была получена в лаборатории диффузионных процессов Института полупроводников АН СССР. Экспериментальному материалу предпосланы главы, в которых излагаются основы теории диффузии в твердых телах и, в частности, в полупроводниках.