Название: Технология полупроводникового кремния
Автор: Реньян В.Р.
Издательство: Металлургия
Год: 1969
Формат: DjVu
Страниц: 336
Размер: 10.5 MB
Язык: Русский

Приводится большой материал по физико-химическим, электрическим, оптическим и механическим свойствам кремния, технологическим процессам получения кремния (химическим методам получения кремния, выращиванию монокристаллов и пленок, легированию) и его использованию (приготовлению оптических элементов, диффузии, резки и т. д.).
Предназначается для инженеров, конструкторов, проектировщиков металлургической и электронной промышленности. Может быть полезна студентам и аспирантам, специализирующимся в области получения и использования кремния.