Название: Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем Автор: Мокеев О.К., Романов А.С. Издательство: М.: Высшая школа Год: 1979 Формат: DjVu/PDF Страниц: 272 Размер: 65.7 MB Язык: Русский
В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование.
Скачать Мокеев О.К., Романов А.С. - Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [1979, DjVu/PDF]
Внимание
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
Мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.
Информация
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.