Название: Синтетический алмаз для электроники и оптики
Автор: Хмельницкий Р.А., Талипов Н.Х., Чучева Г.В.
Издательство: ИКАР
ISBN: 978-5-7974-0558-0
Год: 2017
Страниц: 245
Язык: русский
Формат: pdf
Размер: 10.1 MB

В последние десятилетия в мире идет интенсивный поиск новых современных материалов для электронных и полупроводниковых приборов. Особый интерес для специалистов вызывает такой материал как алмаз, который обладает уникальными свойствами и характеризуется как «материал XXI века». В публикациях содержатся сведения о создании на основе алмаза таких приборов, как транзисторы, диоды, детекторы рентгеновского и ядерного излучений, варисторы, лазеры, оптоэлектронные коммутаторы, фотоэмиттеры и фотодетекторы. В книге сделана попытка отразить с учетом имеющейся информации современное состояние, возможности и перспективы использования алмаза в различных областях электроники, оптики и техники.

Представлено обобщение опыта существующих и перспективных технических решений по созданию алмазных полупроводниковых пленок, технологии выращивания высококачественных, высокочистых алмазных монокристаллических пленок, их легирования и получения наноструктур. Описаны электрофизические и фотоэлектрические свойства таких структур.В связи с тем, что основное внимание уделено получению алмазных полупроводниковых пленок методом химического осаждения из газовой фазы (CVD-метод), приведены сведения об основных типах СВЧ реакторов и об организациях (научных группах), работающих на переднем крае технологии и исследований CVD-алмаза. Отмечается уникальность свойств алмаза но сравнению с другими полупроводниковыми материалами для разработки и создания перспективных электронных приборов. Обсуждается основная проблема внедрения алмаза в современные электронику и оптику - отсутствие монокристаллического алмаза в виде пластин большого размера, пригодных для технологии фотолитографии, а также пути ее решения.

Книга предназначена для ученых, технологов и инженеров, работающих над созданием оптоэлектронных приборов и устройств полупроводниковой электроники на основе алмаза. Может быть полезна преподавателям, аспирантам и студентам технических вузов, исследователям, инженерам и разработчикам.