Название: Физические основы кремниевой наноэлектроники
Автор: Зебрев Г.И.
Издательство: М.: БИНОМ. ЛЗ
Год: 2012
Страниц: 242
ISBN: 978-5-9963-1447-8
Формат: PDF
Размер: 11 Мб
Язык: русский
Серия: Нанотехнологии

Предметом данного учебного пособия является кремниевая наноэлектроника, под которой понимают электронику на основе кремниевых наноразмерных МОП-транзисторов. Книга предназначена, в первую очередь, студентам, специализирующимся в области микро- и наноэлектроники.
Для лучшего восприятия изложение ведется по возможности в замкнутом виде от простого к сложному. Тем не менее предполагается наличие у читателей базовых знаний из курса общей физики и элементарных знаний физики полупроводников и полупроводниковых приборов.
Пособие подготовлено на основе курса лекций «Физические основы наноэлектроники», читаемого автором на протяжении ряда лет для студентов кафедры микро- и наноэлектроники и Высшего физического колледжа Московского инженерно-физического института (Национального исследовательского ядерного университета; МИФИ).

Оглавление

Предисловие ... 3
Глава 1. Базисные физические уравнения ... 5
Глава 2. Особенности приборов КМОП-технологии ... 30
Глава 3. Структуры металл—окисел—полупроводник ... 54
Глава 4. Вольт-амперные характеристики МОПТ ... 85
Глава 5. Физические процессы в каналах МОПТ ... 105
Глава 6. Эффекты сильных электрических полей ... 129
Глава 7. Диффузионно-дрейфовая модель тока в МОПТ ... 143
Глава 8. Транзисторы технологии «кремний-на-изоляторе» ... 159
Глава 9. Моделирование транзисторов КНИ-технологий ... 174
Глава 10. Токи утечки в наноэлектронных структурах ... 188
Глава 11. Мезоскопические эффекты в наноэлектронных структурах ... 210
Литература ... 225
Приложения ... 233

Скачать Физические основы кремниевой наноэлектроники (2-е изд.)