Название: Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники
Автор: Патрушева Т.Н.
Издательство: Красноярск: СФУ
Год: 2013
Страниц: 264
ISBN: 987-5-7638-2491-9
Формат: PDF
Размер: 10.5 Мб
Язык: русский

Раскрывается технологический аспект сенсорики, приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов.
Предназначено для студентов Института инженерной физики и радиоэлектроники СФУ, магистров и аспирантов, обучающихся по курсу «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров.

Содержание

Предисловие
Виды сенсоров
Химические сенсоры
Физические сенсоры
Газоанализаторы
Химические газовые сенсоры
Металлооксидные сенсоры
Химические сенсоры на основе оксида олова
Сенсорные свойства SnO2/Cu
Сенсорные свойства SnO2/Pt, Pd, Au
Сенсорные свойства SnO2/Ni
Сенсорные свойства SnO2/Sb
Сенсорные свойства SnO2/Cr ,W, Zn
Сенсорные свойства SnO2/La2O3, In2O3
Химические сенсоры на основе оксида титана
Химические сенсоры на основе оксида индия
Электрохимические сенсоры
Электрохимические сенсоры на основе ZrO2
Новые электродные материалы электрохимических сенсоров
Электрохимические сенсоры на полевых транзисторах
Характеристики газового сенсора
Температурная зависимость электропроводности газового сенсора
Микроструктура сенсорных пленок
Чувствительность и быстродействие газового сенсора
Экспериментальная установка для исследования быстродействия и газочувствительности оксидных сенсоров
Селективность сенсоров
Микроэлектронные датчики
Активные и пассивные датчики
Активные датчики
Пассивные датчики
Комбинированные датчики
Полупроводниковые твердотельные датчики
Мультиcенсорные системы
Линейка сенсоров
Обработка сигналов и распознавание образов
Конструкция мультисенсорных систем
Микроконструирование датчиков
Классификация структур сенсоров
Соединение микроконструкции с корпусом
Метод микроконструирования
Особенности проектирования датчиков для биомедицинских применений
Магнитометрические датчики
Магнитооптический датчик утечек метана
Феррозонды
Магнитные датчики для измерения толщины и расхода
Композиционные магнитоэлектрические датчики магнитного поля
Пьезоэлектрические датчики
Химические сенсоры на поверхностных акустических волнах
Многофункциональные микроэлектронные преобразователи на ПАВ
Акустооптический сенсор для систем типа «электронный нос»
Пьезоэлектрические биосенсоры
Ультразвуковые сенсоры
Оптические сенсоры
Интегрально-оптический датчик для контроля опасных газовых веществ
Мониторинг охраняемых периметров и угловых перемещений
Сенсоры температуры
ВОДТ-датчик температуры
Современные технологии создания сенсорных элементов
Нанотехнология в сенсорике
Экстракционно-пиролитический метод получения сенсорных материалов
Газочувствительные свойства наночастиц палладия
Наноразмерные сенсоры на основе диоксида олова
Нанопроволоки металлооксидов как сенсоры газов
Новое изготовление SnO2 нанопроволочного газового датчика с высокой чувствительностью
Сенсор на основе опаловых матриц
Получение полых сфер на углеродистых матрицах
Формирование однокристальных мультисенсорных микросистем на основе газочувствительной пленки SnO2 236
Однокристальные мультисенсорные системы на основе оксидных нановолокон
«Электронный язык» и «электронный нос»
Заключение
Библиографический список
Контрольные вопросы