Название: Физико-технологические основы макро-, микро, и наноэлектроники
Автор: Барыбин А.А., Томилин В.И., Шаповалов В.И.
Издательство: М.: Физматлит
Год: 2011
Формат: pdf
Страниц: 781
Размер: 11 mb
Язык: русский

Книга посвящена основным физическим явлениям и закономерностям, лежащим в основе технологических методов и процессов современной электроники. Особое внимание уделено наноматериалам и перспективным направлениям нанотехнологии. Изложение построено так, чтобы дать читателю возможность самостоятельно сформировать общие физико-технологические представления, как правило, без обращения к другой литературе. Для изучения отдельных вопросов в конце книги приведен список рекомендуемой литературы.

Книга предназначена главным образом студентам как учебное пособие по физико-технологическим основам современной электроники в ее широком понимании, включающем макро-, микро- и нанотематику, но может оказаться полезной и специалистам в этих областях.