Название: Техническая механика микросистем
Автор: Тимофеев В.Н., Погалов А.И., Угольников С.В. и др.
Издательство: М.: Бином. ЛЗ
Год: 2015
Страниц: 178
ISBN: 978-5-9963-3001-0
Формат: PDF
Размер: 11 Мб
Язык: русский

Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики.
Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам.
Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) «Микросистемная техника» и «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Пособие также может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.

Скачать Тимофеев В.Н. и др. - Техническая механика микросистем (2015)

.