Название: Том III-8. Технологии, оборудование и системы управления в электронном машиностроении
Автор: Фролов К.В.
Издательство: Машиностроение
ISBN:5-217-02825-4
Серия: Машиностроение. Энциклопеди
Год: 2000
Формат: djvu
Страниц: 744
Размер: 26 Мб
Язык: Русский

Показаны уникальные возможности воздействия на конструкционные материалы высокоэнергетических электронных и ионных пучков, низкотемпературной газоразрядной плазмы и точно дозированных молекулярных потоков. Обобщен отечественный и мировой опыт создания оборудования для производства изделий электронной техники и изложены принципы построения систем автоматического управления. Описаны методы и средства получения и поддержания сверхчистых технологических сред, атмосферы чистых производственных помещений. Систематизированы уникальные технологические процессы изготовления интегральных микросхем и печатных плат, электровакуумных и других приборов. Приведены специфические методы расчета параметров и выбора режимов технологических процессов и оборудования, например, фотолитографии при производстве ИС, термовакуумной обработки ЭВП, описаны технологии и оборудование для изготовления изделий квантовой электроники, приборов отображения информации, для испытания ИЭТ и т.п. Даны основные понятия, этапы и отражены тенденции развития мехатронных систем.