Название: Практикум по химии и технологии полупроводников
Автор: Анохин В.З., Гончаров Е.В., Угай Я.А. и др.; Под общей редакцией Угая Я. А.
Издательство: М.: Высшая школа
Год: 1978
Cтраниц: 190
Формат: pdf
Размер: 43 мб
Язык: русский

В книге дано описание лабораторных работ по химии и технологии полупроводников. Пособие предназначено для изучения основных методов физико-химических исследования конденсированных систем (ДТА, тензиметрические методы, построение P-T-x диаграмм, методы микроструктурного анализа и микротвердости), различных методов синтеза, кристаллизационной очистки и выращивания монокристаллов полупроводниковых соединений. Книга знакомит с основными технологическими операциями в производстве полупроводниковых приборов (окисление, диффузия, эпитаксия, травление). В каждой лабораторной работе дано теоретическое введение, приведены схемы приборов и оборудования, методы количественной обработки экспериментальных результатов.