Название: Физические основы кремниевой наноэлектроники
Автор: Зебрев Г.И.
Издательство: М.: Бином. ЛЗ
Год: 2011
Страниц: 240
ISBN: 978-5-9963-0181-2
Формат: PDF
Размер: 37 Мб
Язык: русский
Серия: Нанотехнологии

Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.
Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».

Скачать Зебрев Г.И. - Физические основы кремниевой наноэлектроники (2011)