Автор: Ю. В. Панфилов, В. Т. Рябов, Ю. Б. Цветков
Название: Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы
Издательство: М:, Радио и связь
Год: 1988
Страниц: 320
Формат: DJVU, PDF
Размер: 14 МБ

Изложены конструкции и принцип действия современного оборудования для производства интегральных микросхем, основы робототехники и гибких автоматизированных систем. Описаны принципы построения и вопросы эксплуатации промышленных роботов, систем управления с использованием ЭВМ и микропроцессоров. Приведены материалы по анализу конструкции сборочного, химико-технологического, фото-рентгено, электронно-литографического оборудования..
Для учащихся техникумов.