Название: Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники: Учеб. пособие
Автор: А. А. Сазонов, Р. В. Корнилов, Н. П. Кохан и др.; Под ред. А. А. Сазонова.
Издательство: М.: Радио и связь
Год: 1988
Формат: PDF
Страниц: 264
Размер: 11,34 МБ
Язык: русский

Рассмотрены структура технологических процессов получения интегральных микросхем, задачи и функции микропроцессорных систем управления оборудованием. Проведен анализ технических средств и основных подсистем оборудования. Приведены алгоритмы управления параметрами процессов и состоянием оборудования, дана их программная реализация с использованием проблемно-ориентированных языков и языков пользователя.
Для студентов вузов приборостроительных специальностей.