- Добавил: kotmatros255
- Дата: 28-04-2021, 20:30
- Комментариев: 0
Название: Физика высокочастотного емкостного разряда
Автор: Савинов В.П.
Издательство: Физматлит
Год: 2013
ISBN: 978-5-9221-1551-3
Формат: pdf
Страниц: 310
Размер: 102 Мб
Язык: Русский
Подробно описаны физический механизм высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР) низкого и среднего давления и свойства плазмы разряда. Исследованы основные свойства и характеристики ВЧЕР, особенности электрического пробоя в высокочастотном поле.
Автор: Савинов В.П.
Издательство: Физматлит
Год: 2013
ISBN: 978-5-9221-1551-3
Формат: pdf
Страниц: 310
Размер: 102 Мб
Язык: Русский
Подробно описаны физический механизм высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР) низкого и среднего давления и свойства плазмы разряда. Исследованы основные свойства и характеристики ВЧЕР, особенности электрического пробоя в высокочастотном поле.