Название: Основы анализа поверхности и тонких пленок
Автор: Фелдман Л., Майер Д.
Издательство: М.: Мир
Год: 1989
Формат: pdf
Страниц: 344
Размер: 11 mb
Язык: Русский

Монография, написанная известными американскими специалистами в области атомных столкновений в твердых телах, посвящена физическим основам и методам использования пучков ионов, электронов и рентгеновского излучения для анализа структуры и состава тонких пленок вещества. Эти методы играют важную роль в развитии современной атомной технологии, особенно в области микроэлектроники. Все вопросы изложены на высоком научном уровне.