Название: Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
Автор: Р. К. Яфаров
Издательство: Физматлит
ISBN: 978-5-9221-1150-8
Год: 2009
Формат: PDF
Страниц: 218
Размер: 10.1 MB
Язык: Русский

В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции н подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и на-нотехнологнй на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы.
Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.