Название: Получение тугоплавких соединений из газовой фазы Автор: Вадим Михайлович Криворучко Издательство: М., Атомиздат Год: 1976 Страниц: 120 Формат: pdf и djvu Качество: хорошее Размер файла: 6.83 MB Язык: русский Сканирование и обработка: Sim.Sommelier
В книге рассмотрено получение карбидов, боридов, нитридов, окислов, силицидов тугоплавких металлов и станнида ниобия из газовой фазы при совместном термическом разложении и водородном восстановлении хлоридов тугоплавких металлов, углеводородов, хлоридов кремния, бора, олова и кремнииорганических соединений. Описана кинетика осаждения этих соединений и зависимость химического состава их от различных параметров процесса (температуры поверхности подложки, скорости потока парогазовой смеси, парциальных давлений материалсодержащих соединений). Приведены физико-химические свойства таких соединений. Указаны условия получения некоторых материалов с заданными свойствами и стехиометрического состава.
Внимание
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
Мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.
Информация
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.