Название: Получение тугоплавких соединений из газовой фазы
Автор: Вадим Михайлович Криворучко
Издательство: М., Атомиздат
Год: 1976
Страниц: 120
Формат: pdf и djvu
Качество: хорошее
Размер файла: 6.83 MB
Язык: русский
Сканирование и обработка: Sim.Sommelier

В книге рассмотрено получение карбидов, боридов, нитридов, окислов, силицидов тугоплавких металлов и станнида ниобия из газовой фазы при совместном термическом разложении и водородном восстановлении хлоридов тугоплавких металлов, углеводородов, хлоридов кремния, бора, олова и кремнииорганических соединений.
Описана кинетика осаждения этих соединений и зависимость химического состава их от различных параметров процесса (температуры поверхности подложки, скорости потока парогазовой смеси, парциальных давлений материалсодержащих соединений). Приведены физико-химические свойства таких соединений. Указаны условия получения некоторых материалов с заданными свойствами и стехиометрического состава.