- Добавил: SCART56
- Дата: 6-01-2019, 07:47
- Комментариев: 0

Название: Технологическое оборудование для микроэлектроники
Автор: Камлюк В.С., Камлюк Д.В.
Издательство: РИПО
Год: 2014
Страниц: 392
ISBN: 978-985-503-369-2
Формат: PDF
Размер: 66 Мб
Язык: русский
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования.