- Добавил: SCART56
- Дата: 14-09-2019, 16:53
- Комментариев: 0
Название: Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства
Автор(ы): Родионов Ю.А.
Издательство: БГУИР
Год: 2019
Страниц: 300 с.: ил.
Формат: PDF
Размер: 14.5 Мб
Язык: русский
Кратко рассмотрены элементы метрологии, используемые в микросенсорике. Подробно рассмотрены основные твердотельные датчики, используемые преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и наноэлектроника, атомная энергетика, военное дело): датчики на основе гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры и теплового излучения, скорости и ускорения, газоанализаторы, датчики влажности, изображения, детекторы радиоактивного излучения, актюаторы и сенсоры вакуумно-плазменных технологий, обеспечивающие высокое качество продукции при изготовлении указанных датчиков.