- Добавил: kotmatros255
- Дата: 27-04-2021, 17:11
- Комментариев: 0

Автор: Попов В.К., Ячменёв С.Н.
Издательство: Радио и связь
Год: 1985
Формат: pdf
Страниц: 130
Размер: 17,7 Мб
Язык: Русский
В пособии изложены сведения о принципах работы и конструктивных особенностях устройств зондового и проекционного оборудования электронной и ионной литографии. Даны основные понятия электронной оптики, описаны методы расчета аберрационных характеристик электронно-оптических систем с осевой симметрией и с малыми отклонениями от нее.