- Добавил: Maximov_Max
- Дата: 8-03-2022, 11:53
- Комментариев: 0

Название: Травление полупроводников
Автор: Травление полупроводников
Издательство: Мир
Год: 1965
Формат: djvu
Страниц: 382
Размер: 16,74 МБ
Язык: русский
В книгу включен ряд обзоров и оригинальных статей по травлению важнейших полупроводниковых материалов: германия, кремния, соединений типа AIIIBV, AIIBVI и некоторых других. Подробно рассматриваются вопросы кинетики поверхностных реакций и образования поверхностного микрорельефа, выявления неоднородностей в распределении примесей (p-n-переходов и др.), обнаружения дислокаций и других структурных несовершенств, а также определения кристаллографической ориентации.