Название: Микродатчики и микросистемы
Автор: Гридчин А.В.
Издательство: Москва, Вологда: Инфра-Инженерия
Год: 2023
Формат: pdf
Страниц: 184
Размер: 31 mb
Язык: русский

Представлены конструкции и принципы работы основных типов микродатчиков и микросистем, разработанных и применяемых в настоящее время. Даны определения основным терминам, используемым в микросистемной технике. Приведен перечень метрологических параметров, характеризующих микросистему как измерительный прибор. Отдельным вопросом рассмотрено компьютерное моделирование и проектирование микросистем на основе программного пакета Ansys.