Название: Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность
Автор: Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И.
Издательство: Высшая Школа
Год: 1986
Страниц: 464
Формат: pdf (OCR)
Размер: 10 mb

В книге изложены основные принципы и направления развития микроэлектроники, приведена классификация изделий микроэлектроники и их общая характеристика; описаны физико-химические основы и технология изготовления полупроводниковых и гибридных ИМС и БИС.
Во 2-м издании использованы последние достижении в разработке ИМС, более подробно рассмотрены новые технологические процессы и т.д.

Современный этап развития радиоэлектроники характеризуется широким применением интегральных микросхем (ИМ С) во всех ра­диотехнических системах и аппаратуре. Это связано со значитель­ным усложнением требований и задач, решаемых радиоэлектронной аппаратурой, что привело к росту числа элементов в ней. За каждое десятилетие число элементов в аппаратуре увеличивается в 5—20 раз. Разрабатываемые сейчас сложные комплексы аппаратуры и системы содержат миллионы и десятки миллионов элементов. В этих условиях исключительно важное значение приобретают проблемы повышения надежности аппаратуры и ее элементов, микроминиатюризации электрорадиокомпонентов и комплексной ми­ниатюризации аппаратуры. Все эти проблемы успешно решает микроэлектроника.