Название: Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Автор: Родионов Ю. А.
Издательство: Инфра-Инженерия
Год: 2019
Cтраниц: 353 с. : цвет.ил., табл., схем.
Формат: pdf (ocr)
Размер: 74 мб
Язык: русский

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.