Автор: Моряков О. С.
Название: Термические процессы в микроэлектронике
Издательство: М:, Высшая школа
Год: 1987
Страниц: 199
Формат: DJVU, PDF
Размер: 10 МБ

В книге описаны процессы изготовления полупроводниковых приборов и микросхем диффузией, планарной и элионной технологией, а также нанесения эпитаксиальных, диэлектрических и металлических пленок. Рассмотрено технологическое оборудование. Третье издание (2-е — в 1980 г. "Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве") дополнено материалом по основным термическим процессам, а также сведениями об их комплексной автоматизации.