Название: Технологическое оборудование для микроэлектроники
Автор: Камлюк В.С., Камлюк Д.В.
Издательство: РИПО
Год: 2014
Страниц: 392
ISBN: 978-985-503-369-2
Формат: PDF
Размер: 66 Мб
Язык: русский

Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования.
Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.