Автор: Гимпельсон В. Д., Радионов Ю. А.
Название: Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники
Издательство: М:, Машиностроение
Год: 1976
Страниц: 328
Формат: DJVU, PDF
Размер: 10 МБ

В книге рассмотрены вопросы конструирования и технологии производства гибридных тонкоплёночных микросхем. Описаны элементы тонкоплеиочных микросхем, материалы для их изготовления. Представлены необходимые сведения для расчета элементов. Рассмотрены методы, технология и оборудование для изготовления тонкоплёночных слоев, рисунка элементов схемы, а также вопросы технологии сборочно-монтажных работ. Отдельно рассмотрены проблемы создания многокристальных больших интегральных схем. Книга предназначена для инженеров и Техников, связанных с производством микросхем и аппаратуры на микросхемах в приборостроении и других смежных отраслях.