Название: Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники
Автор: Камлюк В.С., Камлюк Д.В.
Издательство: Минск: РИПО
Год: 2016
Страниц: 384
ISBN: 978-985-503-627-3
Формат: PDF
Размер: 13 Мб
Язык: русский

Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элементы – аппаратные и программные интерфейсы, пути организации данной связи с целью снижения аппаратных интерфейсов.
Отдельные главы посвящены надежности и техническому диагностированию, обслуживанию и ремонту мехатронных систем. Предназначено для учащихся учреждений среднего специального образования, обучающихся по специальности «Мехатроника» (специализация «Мехатроник 5-го разряда (радиоэлектронное производство)»).

Скачать Камлюк В.С., Камлюк Д.В. - Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники