Название: Материаловедение в микроэлектронике
Автор: Палатник Л. С., Сорокин В. К.
Издательство: Энергия
Год: 1977
Серия: Электронное материаловедение
Страниц: 142 (в книге — 280)
Формат: DjVu, PDF
Размер: 14,4 МБ
Язык: русский

В книге освещены основные вопросы материаловедения в области микроэлектроники. Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров, вопросы диффузии в приповерхностный слой примесей, а также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и
эпитаксиальных пленок кремния.
Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, а также может служить в качестве учебного пособия по теоретическим проблемам конструирования и производства микросхем для студентов и аспирантов вузов.