Название: Измерения и контроль в микроэлектронике
Автор: Дубовой Н.Д., Осокин В.И., Очков А.С. и др.
Издательство: М.: Высшая школа
Год: 1984
Страниц: 367
Формат: PDF
Размер: 13.4 Мб
Язык: русский

В книге рассматриваются основные контрольно-измерительные операции, методы и средства контроля, используемые при производстве интегральных микросхем. Для формирования у студентов единого подхода к вопросам измерения и контроля материал пособия излагается на основе действующих государственных и отраслевых стандартов. С этой же целью в нем рассматриваются главные понятия из области метрологии и основы технологии изготовления интегральных микросхем.

Скачать Дубовой Н.Д. и др. - Измерения и контроль в микроэлектронике