Название: Технология и конструирование интегральных микросхем
Автор: Березин А.С., Мочалкина О.Р.
Издательство: Радио и связь
Год: 1992 - 2-е изд., перераб. и дополн.
Cтраниц: 320
Формат: pdf
Размер: 13 мб
Язык: русский

Последовательно рассмотрены вопросы технологии кремниевых полупроводниковых, пленочных и гибридных интегральных микросхем различной степени интеграции, методы проектирования их элементной базы. Описаны типовые технологические процессы производства. Изложены принципы конструирования этих микросхем. Указаны конструктивно-технологические особенности больших и сверхбольших интегральных микросхем, а также микросхем на арсениде галлия. Особое внимание уделено задачам и методам машинного проектирования микросхем. Для студентов радиотехнических и радиофизических специальностей вузов.