Название: Оборудование полупроводникового производства
Автор: Блинов И.Г., Кожитов Л.В.
Издательство: Машиностроение
Год: 1986
Cтраниц: 280
Формат: pdf
Размер: 102 мб
Язык: русский

Изложены вопросы конструирования и особенности основных видов технологического оборудования полупроводникового производства. Сформулированы требования к оборудованию, определяемые технологическими процессами, и даны практические рекомендации по их реализации. Отмечена необходимость системного подхода к комплексной механизации и автоматизации производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Для студентов, изучающих оборудование полупроводникового производства в курсах «Полупроводниковые и микроэлектронные приборы», «Технология специальных материалов электронной техники» и «Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение».