Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
- Добавил: umkaS
- Дата: 26-08-2021, 11:30
- Комментариев: 0
Название: Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборовАвтор: Брюэр Дж. Р. (ред.)
Издательство: М.: Радио и связь
Год: 1984
Cтраниц: 336
Формат: pdf
Размер: 17 мб
Язык: русский
Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технической работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Скачать Брюэр Дж. Р. (ред.) - Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Внимание
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
Мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
Мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.
Информация
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.